액처리 장치, 액처리 방법 및 기억 매체

Solution processing apparatus, solution processing method, and recording medium

Abstract

본 발명은, 기판에 대하여 처리액에 의해 처리하는데 있어서, 처리액의 유량을 고정밀도로 계측하고 처리액의 토출 상태를 감시할 수 있는 액처리 장치, 액처리 방법 및 기록 매체를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액처리 장치는 기판 유지부에 유지된 기판에 대하여, 처리액 공급원으로부터 유로 부재 및 노즐을 통해 처리액을 공급하여 액처리를 행하는 장치에 있어서, 상기 유로 부재에 설치되고, 상기 처리액을 상기 노즐까지 송출하기 위한 송액 기구와, 상기 유로 부재에 있어서의 상기 송액 기구의 하류측에 설치되고, 측정 가능한 유량의 하한값이 1㎖/sec 이하인 초음파 유량계를 구비하고, 상기 초음파 유량계는, 상기 처리액의 흐름 방향으로 서로 이격되고 또한 각각 상기 유로 부재의 외주를 둘러싸도록 환 형상으로 설치된 제1 및 제2 압전 소자와, 초음파를 상기 제1 압전 소자로부터 상기 제2 압전 소자로 전파할 때의 전파 시간과 해당 초음파를 상기 제2 압전 소자로부터 상기 제1 압전 소자로 전파할 때의 전파 시간과의 시간 차에 기초하여, 상기 처리액의 유량을 측정하는 측정부를 구비한다.

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2003197516-AJuly 11, 2003Tokyo Electron Ltd, 東京エレクトロン株式会社Applying method and applying device
    JP-4851936-B2January 11, 2012日本フローセル製造株式会社超音波流量計

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